CDG500|电容薄膜真空计Capacitive Diaphragm Gauge
CDG500|电容薄膜真空计Capacitive Diaphragm Gauge
面向大气至低真空段的高精度绝对压力测量方案，兼具气体无关特性与多制式输出，适合作为工艺与校准的统一基准。
产品概述（Product Overview）
CDG500 是 INFITECH 真空计系列中的 电容薄膜真空计，专为 大气至低真空段 的精密压力测量设计，提供 1000 / 100 / 10 mbar 三种量程。与依赖气体热导率的皮拉尼或热偶规不同，CDG500 基于 陶瓷电容薄膜传感器，读数对气体种类不敏感，可在单一气体和复杂混合气氛下保持高精度和良好重复性，适合作为工艺基准或实验室参考标准。
本体集成 OLED 本地数显屏，可直读压力值并切换单位；电气侧提供 RS485（Modbus RTU）+ 0–10 V 双输出，并可选配 4–20 mA 与 2 路设定点控制，既能融入 PLC / DCS 等自动化系统，也能接入实验室数据采集平台。配合 陶瓷膜片的耐腐蚀特性和 3 bar 过压防护，CDG500 适用于半导体、真空镀膜、真空炉、分析仪器、化工与计量实验室等对低真空段精度要求较高的场合。
量程规格： 1000 / 100 / 10 mbar 绝对压力量程
核心特性： 气体无关、高精度、重复性好
接口配置： KF16 真空接口 + DB15 电气接口；标配 RS485 & 0–10 V，可选 4–20 mA、设定点输出
技术特性（Key Features）
高精度绝对压力基准
在大气至低真空段提供 ≤ ±0.2% 读数 的测量精度，重复性 ≤ ±0.1% 读数，可作为工艺控制和计量比对的稳定参考点。气体无关，适应多气氛切换
电容薄膜读数不依赖气体热导率，对单一气体和混合气氛响应一致，适合工艺气体频繁切换或多配方工艺。陶瓷薄膜传感器，耐腐蚀寿命更可控
采用陶瓷膜片结构，相比金属膜片更耐腐蚀、耐污染，长期稳定性好，适合化工、镀膜等存在腐蚀性或反应性气体的环境。本地 OLED 显示 + 多制式输出
集成 OLED 显示屏，支持压力单位切换；标配 RS485（Modbus RTU）+ 0–10 V 双输出，可选 4–20 mA 与 2 路设定点控制，方便接入实验室与工业控制系统。紧凑结构，3 bar 过压防护
真空接口为 KF16，电气接口为 DB15，整机紧凑，允许 3 bar（惰性气体） 过压，在存在压力波动或误操作的工况下更可靠。
技术参数（Technical Specifications）
典型应用（Typical Applications）
半导体工艺与真空腔室控制
应用于刻蚀、CVD/PVD 等对压力控制精度要求高的工艺段，提供气体无关的精确读数，提升工艺稳定性与批次一致性。真空镀膜生产线
安装在镀膜室或前级管路，对工艺压力进行精密监测，为镀层厚度、折射率等质量指标提供可靠压力基础。真空热处理与冶金工艺
精确监控炉腔真空度和残余气体水平，降低气氛波动对材料性能的影响。分析仪器与科研设备
适用于质谱仪、电子显微镜等对低真空段压力稳定性要求严格的设备，既可用作内部控制，也可作为校准基准。化工过程与真空蒸馏
用于真空蒸馏、精馏与反应釜等场合的压力监控，在多组分或腐蚀性气氛下维持稳定工况。计量与校准实验室
作为高精度基准仪表，对皮拉尼规等真空计进行定期校准与比对，支撑实验室真空计量体系。
常见问题（FAQ）
Q：CDG500 与皮拉尼真空计的主要区别是什么？
A： CDG500 基于电容薄膜原理，读数为绝对压力，不依赖气体热导率，在大气至低真空段具备更高精度和更好重复性；皮拉尼规量程更宽，适合做趋势监测，但在气体种类变化时读数会产生偏差。
Q：CDG500 是否需要预热才能达到额定精度？
A： 不需要。电容薄膜规具备即开即用特性，上电后即可进入工作状态。
Q：CDG500 对气体种类是否敏感？
A： 不敏感。CDG500 输出的是绝对压力值，对气体种类及混合比例不敏感，无需根据气体配方做额外修正。
Q：量程与精度如何选择？
A： 建议优先选择覆盖工艺工作区间的最小量程（如 10 mbar / 100 mbar），在该量程内可获得更佳分辨率与精度；1000 mbar 量程适合覆盖大气附近的较宽压力范围。
Q：是否支持设定点输出与自动联动？
A： 支持选配最多 2 路设定点（点或区间控制），可用于超限报警或驱动阀门、真空泵等设备，构建简单的本地联动控制。
Q：允许的最大过压是多少？
A： 最大允许过压为 3 bar（绝压，惰性气体）。在存在较大压力波动的工况中，建议配合缓冲容积或节流措施，以延长膜片寿命。
Q：如何与现有系统进行电气对接？
A： 电气接口为 DB15，标配 RS485 + 0–10 V 输出，可选 4–20 mA。可直接接入 PLC、DCS 或数据采集卡，详细脚位与寄存器信息可参考规格书或向工程师索取。
供应与技术支持（Service & Support）
🚛 高效供应链协同
CDG500 主要量程型号保持常备库存，可快速响应设备厂与系统集成商的项目需求。针对特殊量程或接口定制，可提供排产与备货协同，降低备件占用与停机风险。
👨🔧 专业应用对接
INFITECH 应用工程师可协助完成量程选型、安装位置评估及接口形式确认，并提供 RS485 通讯配置示例、模拟量输出曲线匹配与系统接线建议，帮助 CDG500 平滑接入现有 PLC、DCS 或实验室平台。
🛡️ 标准化品质管理
每台 CDG500 在出厂前均经过电容膜片筛选、全量程标定与温度补偿测试，保存关键校准数据，确保批次一致性和长期稳定性；针对高腐蚀、高污染工况，可根据实际反馈优化维护策略与更换周期。
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