浙江某半导体客户在其碳基复合材料生产线中,使用真空电加热炉进行高温处理,系统运行时供电电流高达 8000–100000A(交流)。该客户在炉体附近安装了一套第三方上位机系统采集的真空计设备,并发现加热阶段读数出现严重波动,难以进行有效监控。
在初期排查无果的情况下,客户曾质疑真空计本体性能不稳定,并联系 INFITECH 技术团队协助分析。
通过现场信息梳理,我们了解到该客户的真空计安装位置距离高电流主电缆仅约 10cm,该区域存在强烈的电磁干扰特征,甚至在测试过程中普通万用表都无法正常测量稳定电压值。
客户使用的是 0–10V 电压信号输出方式,通过自研上位机直接采集读数。在加热炉开启后,真空计数据表现为:
数值大幅波动,显示不稳定;
波动持续存在于整个加热周期;
无法判断真实真空状态,影响生产过程判断。
INFITECH 工程师通过远程技术支持方式对系统进行分析,初步判断为电磁干扰导致模拟信号失真。为进一步验证,我们建议客户进行屏蔽实验:
使用金属管将真空计本体包覆以形成临时屏蔽结构。
实验结果显示,读数立刻趋于稳定,波动明显减小,确认问题源于信号路径未采取抗干扰设计,而非设备本体故障。
根据干扰成因与客户设备结构,我们建议采取以下综合性整改措施:
为真空计本体加装金属屏蔽罩,降低空间电磁耦合影响;
更换原信号线为屏蔽电缆,并规范屏蔽层接地处理;
在电缆外部加装金属套管,形成双层屏蔽结构,提高整体抗干扰能力。
整改后,真空计输出信号稳定可靠,客户系统恢复正常运行,读数稳定性大幅提升,客户认可问题定位准确、响应高效。
该案例充分表明,在高电流或强磁场工况下,真空计信号链的干扰防护不可忽视,尤其是使用模拟输出(如0–10V电压)的情况下。
INFITECH 技术团队建议:
真空计安装应远离高功率电缆、加热组件或射频干扰源;
模拟量信号推荐使用屏蔽电缆并确保单端或双端正确接地;
如条件允许,优先选择 4–20mA 电流环或 Modbus RTU 等抗干扰能力更强的信号方式;
对于高干扰场合,可选配 带隔离功能的控制模块或信号转换器,提升系统鲁棒性;
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