常见的真空法兰有三种规格，即CF、KF、ISO，下面详细解释每种法兰的使用方法及相关资料。

一、CF法兰

CF法兰的英文名是Conflat Flang。它是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤。

公称直径尺寸包括DN16, 40, 63, 100, 160, 200，250等几种规格尺寸。适用的真空度最高达10-12mbar，法兰密封材料通常为Viton、PTFE、无氧铜等。

法兰通常为304、316不锈钢等，具体见下图所示：

二、KF法兰

ISO-KF真空接头是小尺寸的快装法兰接头。通常由法兰(flang)、快夹(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成，勿需使用别的工具，只要简单地用手拧动碟形螺母就可以松开或压紧联接。

适用的真空度最高达10-8 mbar。公称直径尺寸包括：DN 10, 16, 25, 40,50 等几种尺寸规格。法兰本身通常为304、316不锈钢等材质，法兰密封材料通常为Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝等。

ISO-KF的制造标准有：DIN 28403，ISO 2861

ISO-KF 真空接头见下图。

三、ISO法兰

ISO法兰和配管可用于从大气压到高真空，经常装拆的各种应用中。一般管子的直径超过50mm（2英寸）。如果使用氟橡胶O形圈，可以承受150℃烘烤。

ISO法兰常用的两种形式是ISO-K和ISO-F，二者皆为大尺寸的真空接头，公称直径尺寸有DN 63, 100, 160, 200, 250, 320, 400, 500 和630等几种规格。

ISO法兰可应用在要求真空度高达10-8 mbar的场合。法兰通常为304、316不锈钢等材质，密封材料通常为Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝丝等。

制造标准包括：DIN 28404 ，ISO 1609。　　　　

a、  ISO-K真空接头通常由法兰(flang)、法兰爪(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成。

b、  ISO-F真空接头通常由法兰(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成，与ISO-K不同的地方是法兰用螺栓坚固。