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VAR800-C| 数显膜片真空计Digital Diaphragm Vacuum Gauge

VAR800-C| 数显膜片真空计Digital Diaphragm Vacuum Gauge

面向大气至 100 Pa 低真空段的高精度绝对压力测量方案,兼顾气体无关测量、本地数显与多制式输出,适用于对工艺压力控制精度要求较高的真空系统。

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产品概述(Product Overview)

VAR800-C 是 INFITECH 宜福泰科面向低真空段和精密工艺控制推出的数显膜片真空计,覆盖从大气压到 100 Pa 的绝对压力测量区间。基于膜片式测量原理,提供 ±0.1%FS 级精度和优良重复性,读数对气体种类不敏感,可作为低真空段工艺控制和校准比对的可靠基准。仪表集成五位 LED 数显、RS485(Modbus RTU)及可选 0–10 V / 4–20 mA 输出,通过 KF16 真空接口与 DB9 电气接口,可方便嵌入现有 PLC / DCS 或真空控制系统。

  • 测量范围: 大气压 ~ 100 Pa

  • 测量精度: ±0.1%FS,重复性典型 ≤±1% of Reading

  • 接口配置: KF16 真空接口;DB9 电气接口;RS485(Modbus RTU)标配,可选 0–10 V / 4–20 mA 与设定点输出


技术特性(Key Features)

  • 低真空段高精度绝对压力测量
    在大气压~100 Pa 范围内实现 ±0.1%FS 级精度和优良重复性,适合作为低真空段工艺控制与验收比对的压力基准。


  • 气体无关测量,适配多种介质气体
    采用膜片式绝对压力测量,读数不依赖气体热导率,对多数清洁、非颗粒、非强腐蚀性介质气体可直接使用,减少气体修正带来的不确定性。


  • 一体化数显与紧凑结构
    集成五位 LED 数显,现场可直接读取真空度;采用 KF16 法兰 + DB9 电气接口的一体式紧凑设计,整机质量约 150 g,便于在有限空间布置。


  • 多制式输出与设定点联动
    标配 RS485(Modbus RTU),可选 0–10 V 或 4–20 mA 模拟量输出,并可配置最多 2 路设定点,用于联动报警、阀门控制或工艺步骤切换。


  • 工业级结构与一致性控制
    采用 6061 铝合金外壳与标准 KF16 真空接口,通过 CE 认证,配合出厂全量程标定与一致性控制策略,适合长期连续运行的工业与实验室环境。



技术参数(Technical Specifications)

项目 (Item)规格 (Specification)备注 (Remark)
测量原理膜片式绝对压力测量气体无关,适用于清洁介质气体
测量范围大气压 ~ 100 Pa低真空段精密测量
测量精度±0.1%FS典型工况下,N₂ / 空气标定
重复性≤±1% of Reading典型值
显示方式五位 LED 数显支持现场直接读取压力值
真空接口KF16其它接口可定制
电气接口DB9(母)后部插座式接口
输出信号RS485(Modbus RTU,标配)支持 PLC / 上位机集成
模拟量输出0–10 V 或 4–20 mA(选配)订货时指定
设定点输出最多 2 路设定点(选配)点/区间控制,继电器输出
外壳材质6061 铝合金工业级结构强度
允许过压≤2 bar 绝压(惰性气体)超限可能损伤传感器
工作温度-20 ~ +80 ℃仪表正常工作环境
存储温度-40 ~ +120 ℃存放与运输环境
典型重量约 150 g含 KF16 接口
认证标准CE符合相关安全与 EMC 要求

典型应用(Typical Applications)

  • 真空干燥 / 冷冻干燥
    在大气至 100 Pa 区段提供高精度压力监测,用于判断干燥、脱溶与升华阶段的工艺窗口,降低残留溶剂与气泡缺陷风险。


  • 化工减压蒸馏与过程控制
    适用于各类减压蒸馏、溶剂回收与精细化工过程,对多数介质气体保持稳定读数,为温度—压力联合控制提供可靠基准。


  • 真空热处理与退火炉
    在低真空段精确监控炉腔压力,帮助控制残余气体水平,提升热处理过程的一致性与可追溯性。


  • 薄膜工艺低压段监控(PVD / CVD / ALD)
    作为工艺低压段或前处理工序的压力监测点,为镀膜、退火、预处理等环节提供高精度压力参考。


  • 科研实验室与校准比对
    用作低真空段参考真空计,用于实验装置状态确认或对皮拉尼规等真空计进行周期性校准与比对。



常见问题(FAQ)

Q:VAR800-C 的测量范围和精度是多少?
A: VAR800-C 覆盖大气压~100 Pa 低真空段,测量精度为 ±0.1%FS,典型重复性优于 ≤±1% of Reading,适合作为低真空段工艺控制与验收比对的压力基准。

Q:膜片真空计与皮拉尼真空计相比有什么优势?
A: 皮拉尼规依赖气体热导率,量程宽但在接近大气压的低真空段精度有限且对气体种类敏感;膜片真空计基于绝对压力测量,对气体种类不敏感,在大气至 100 Pa 区段可提供更高精度和更好长期稳定性。

Q:VAR800-C 对气体种类敏感吗?
A: 在设计工况下可视为气体无关,适用于多数清洁、非颗粒、非强腐蚀性的介质气体。对于强腐蚀性、强冷凝或含大量颗粒的介质,应结合接液材质和工况评估长期使用的适用性。

Q:如何将 VAR800-C 集成到现有 PLC / DCS 系统?
A: 仪表标配 RS485(Modbus RTU)通讯,可通过设置设备地址、波特率等参数接入 PLC / DCS / 上位机;如需模拟量接入,可在订货时选择 0–10 V 或 4–20 mA 输出版本,通过标准 AI 模块采集压力信号。

Q:是否支持设定点输出用于联动或报警?
A: 支持。VAR800-C 可选配最多 2 路设定点输出,支持点或区间控制,可用于声光报警、阀门联动或工艺阶段切换等应用。

Q:推荐的校准周期是多少?
A: 产品出厂前已逐台标定。建议根据工艺重要性与使用频次,每 6–12 个月进行一次大气端或比对校准;在经历系统大修、严重污染或长期停用后重新启用时,也建议进行校准复核。


供应与技术支持 (Service & Support)

🚛 高效供应链协同

VAR800-C 常见配置(如 KF16 接口、RS485 输出)保持常规备货,可满足日常项目交付周期要求。对于批量项目或特殊接口、输出组合需求,可提供排产协同与阶段交付方案,降低真空系统集成与调试等待时间。

👨‍🔧 专业应用对接

INFITECH 应用工程师可根据具体工况(真空干燥、化工减压、热处理等)提供量程选型、安装位置评估以及 PLC / DCS 通讯参数配置建议,并在需要时配合完成现场调试与系统联动验证。

🛡️ 标准化品质管理

每一台 VAR800-C 在出厂前都需经过标准化真空标定流程与功能测试,关键参数留有校准记录,以保证量程、精度与重复性满足规格要求。结合 CE 认证与内部质量追溯机制,可支撑长期运行场景下的真空测量一致性管理。


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