
集成 OLED 显示与通讯输出的中粗真空测量与过程监控方案

PRG500 是 INFITECH 宜福泰科真空计系列中的一体式数显皮拉尼真空计,量程覆盖 1.0E+5~1.0E-2 Pa,可满足从粗真空到中真空的过程测量需求。基于高灵敏度 Pirani 传感单元与数字处理电路,PRG500 在典型工况下中段量程测量精度可达 ±10% of Reading,适合对真空变化敏感的工艺过程监控。
仪器前端集成高对比度 OLED 显示屏,可实时显示真空度、运行状态及故障信息,支持多单位显示和科学计数法 / 常规计数法切换。通过 RS485(Modbus RTU)通讯接口,PRG500 可与 PLC、DCS 或上位机系统直接集成;同时可选配模拟量输出与设定点控制,实现本地显示、远程监控与基础联动控制于一体。配合紧凑坚固的结构与 10 bar 惰性气体过压能力,PRG500 适用于科研实验室、真空炉、镀膜线、真空干燥设备等多种真空系统。
关键规格小结:
测量范围:1.0E+5 ~ 1.0E-2 Pa
测量精度:中段量程内 ±10% of Reading(N₂ / 空气基准)
接口配置:真空接口 KF16;标配 RS485(Modbus RTU),可选 0–10 V 模拟输出
OLED 显示,一眼看清真空与状态:
内置高对比度 OLED 屏,可同时显示真空度、单位、运行与故障状态,支持 Pa / mbar / Torr 多单位及科学计数法 / 常规计数法切换,方便不同习惯的工程师快速读取。
标配 RS485 通讯,直接挂载控制系统:
自带 RS485(Modbus RTU)接口,可将真空度与状态数据直接传输给 PLC、DCS 或上位机,用于过程监控、数据记录与远程参数配置。
可选 0–10 V 模拟输出,兼容存量系统:
在以模拟量采集为主的系统中,可选配 0–10 V 对数输出,将 PRG500 作为带本地显示的模拟量真空规使用,实现对传统硬件架构的平滑升级。
一键 ATM / HV 校准,现场快速就位:
提供一键大气(ATM)与高真空端(HV)校准流程,工程师按屏幕提示即可完成基准校准,适合首次安装、维护后或长期停用后的快速恢复。
安装方向不敏感,适合多种布置方式:
对安装姿态不敏感,可根据设备结构选择水平或垂直安装,有利于在空间受限或管路复杂的系统中布点。
10 bar 过压能力的坚固测量腔体:
真空侧由不锈钢、玻璃、Mo、Ni、W 等材料构成,可承受约 10 bar 惰性气体过压,外壳采用阳极氧化铝结构,适合长期运行于工业环境。
可选设定点与继电器输出,实现基础联动:
支持选配 1 路设定点与继电器输出,用于真空达标启泵、超限报警或简单区间控制,在不增加额外逻辑模块的前提下实现本地联动。

真空热处理炉:
作为炉膛或管路中的真空监测点,利用现场显示与设定点控制,联动抽气、充气和保压过程,提升工艺一致性与可追溯性。
PVD / CVD 镀膜生产线:
用于基底前处理或工艺腔的中粗真空监测,通过 RS485 将实时压力数据反馈给工艺控制系统,辅助保持膜层厚度与性能稳定。
真空干燥与冷冻干燥设备:
通过 OLED 实时查看真空度变化,判断物料脱水、干燥阶段和工艺终点,减少过干或干燥不足造成的质量问题。
分子蒸馏与真空灌注工艺:
在塔体或腔体关键位置布置 PRG500,结合设定点功能自动维持真空水平,改善产品批次一致性。
半导体与电子制造设备:
作为 Loadlock 腔体或辅助真空腔的监测节点,通过 Modbus RTU 接入上位机或设备控制系统,满足自动化产线的数据采集需求。
科研与教学实验室:
集显示、测量与通讯于一体,用于实验装置中的标准真空测点,减少额外显示模块与布线复杂度。
Q:PRG500 与普通皮拉尼规相比有什么主要区别?
A: PRG500 自带 OLED 显示与 RS485 通讯,可在本地显示真空度和状态,同时将数据输出至 PLC / 上位机;可选模拟量输出和设定点控制,在单台设备中完成测量、显示与基础控制,普通皮拉尼规通常需外接控制器或表头。
Q:PRG500 的测量范围和典型精度是多少?
A: 测量范围为 1.0E+5 ~ 1.0E-2 Pa,中段量程内典型精度为 ±10% of Reading(N₂ / 空气基准),适合大多数中粗真空工况的过程监控与趋势评估。
Q:是否支持多单位显示和科学计数法?
A: 支持。PRG500 可在 Pa、mbar、Torr 等单位间切换,并支持科学计数法与常规计数法两种显示模式。
Q:通讯与输出接口如何配置?
A: RS485(Modbus RTU)为标配接口,用于数字通讯与参数配置;如需模拟量输出,可选配 0–10 V 对数输出;如需联动控制,可选配 1 路设定点与继电器输出。
Q:出厂是否已经完成校准?现场还需要做什么?
A: 每台 PRG500 出厂前均经过工厂标定。建议在首次安装或长期停用后恢复使用时,按说明书执行 ATM / HV 一键校准,使现场基准点与系统保持一致。
Q:对安装方向有没有特别要求?
A: 无严格方向要求。按设备结构选择合适安装位置并固定,上电稳定后执行大气端校准即可投入使用。
Q:对被测气体与工况有哪些限制?
A: 以 N₂ / 空气为标定气体,测量其他气体时需根据热导率差异进行工程修正。不建议用于可燃或强腐蚀性气体工况,如需在腐蚀性环境中使用,应先评估材料兼容性并与 INFITECH 工程师确认方案。
INFITECH 宜福泰科针对 PRG500 标准配置(如 KF16 接口、RS485 通讯)建立常备库存,并可根据项目需求提供定制接口与输出组合。通过优化供应链与生产排程,在设备装机和改造项目中缩短交付周期,减少因真空计等待造成的停机与延误。
应用工程师可协助评估具体工况,提供安装位置建议、通讯参数设置和设定点控制逻辑示例,确保 PRG500 与现有真空系统及控制架构匹配良好。对于多通道监控或与其他类型真空规协同使用的场景,也可提供整体选型与集成建议。
每一台 PRG500 出厂前均经过标准化真空标定、压力响应测试与电气安全检测,确保量程、精度和输出特性在批次之间保持一致。配合 CE 认证与完善的质量追溯体系,可满足工业现场和科研应用对长期稳定运行的要求。
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