PVG550| 膜片电阻高精度复合真空计Diaphragm + Pirani Composite Gauge
PVG550| 膜片电阻高精度复合真空计Diaphragm + Pirani Composite Gauge
宽量程气体无关测量与中真空快速响应的一体化方案
产品概述 (Product Overview)
PVG550 是 INFITECH 推出的膜片电阻高精度复合真空计，在单一探头内集成绝对压力膜片段与电阻式皮拉尼段，量程覆盖 1.5E+5～1.0E-2 Pa，实现从大气到中真空的连续测量。大气至低真空由膜片段负责，读数气体无关，精度可达 ±1% of Reading，长期漂移小；低真空至中真空由皮拉尼段接力，扩展量程并保持较快响应。内部根据压力区间自动切换工作段，对外通过一组 0–10 V 模拟输出与 RS485(Modbus RTU) 提供统一信号，可根据电气接口配置 1–3 路设定点，便于挂接到各类真空系统与自动化平台。
关键规格小结：
测量范围： 1.5E+5～1.0E-2 Pa
测量精度： 大气段典型 ±1% of Reading，中真空段典型 ±10% of Reading
接口与输出： KF16 真空接口；0–10 V + RS485(Modbus RTU) 标准输出；RJ45 / DB15 接口可选 1–3 路设定点
技术特性 (Key Features)
膜片 + 皮拉尼复合，一只规管看全程：
在单一探头内集成膜片规与电阻式皮拉尼规，大气至低真空由膜片段测量，中真空由皮拉尼段接力，一套设备覆盖 1.5E+5～1.0E-2 Pa 宽量程，避免多只真空计拼接带来的安装与标定复杂度。大气段气体无关，高精度低漂移：
在约 1.0E+3 Pa 以上量程段由膜片段工作，测量结果不依赖气体种类，大气至低真空段精度可达 ±1% of Reading，长期漂移小，减少频繁校准需求，适合多气氛切换的应用场景。分段精度明确，兼顾控制与监测：
中真空段典型精度 ±10% of Reading，1.0E+3～1.0E+4 Pa 段精度可达 ±2.5% of Reading，大气段为 ±1% of Reading，不同区间给出清晰精度指标，可同时满足工艺控制、工艺验证与过程记录的多层次要求。多设定点输出，适配复杂工艺联锁：
标配 0–10 V 模拟输出与 RS485(Modbus RTU) 通讯。根据电气接口不同，可配置 1–3 路设定点输出：RJ45 接口版本可选 1 路，DB15 接口版本最多可选 3 路，适合实现多段真空联锁、阀门控制与泵组保护。自动区段切换，减少干预与误操作：
内部按压力区间自动切换膜片段与皮拉尼段，无需用户手动切换，对外保持一组连续的真空度输出，降低操作错误与逻辑配置复杂度。紧凑结构与多种接口，方便 OEM 集成：
采用紧凑全金属外壳结构，标准 KF16 真空接口，可定制 KF25 / CF 等形式；电气接口提供 RJ45 与 DB15 两种选项，便于在 OEM 设备中灵活布局与接线。
技术参数 (Technical Specifications)
典型应用 (Typical Applications)
半导体制造工艺：
用于关键工艺腔体的大气抽空过程监控与稳态真空控制，在工艺切换时保持稳定、可重复的真空条件。PVD / CVD 真空镀膜系统：
从抽空、工艺段到放气全过程提供连续真空度监测，帮助提高镀层厚度与性能的一致性。真空干燥与冷冻干燥设备：
在抽空与保压阶段，对腔体真空度进行精确监控，辅助判断物料干燥进程与工艺终点。化工过程与溶剂回收：
应用于精馏、减压反应与溶剂回收等工艺，确保真空条件维持在安全与效率兼顾的区间。真空炉与冶金工艺：
对炉内大气抽空与真空保持过程进行监控，降低氧化、夹杂等风险，提升产品质量。真空泵测试与系统集成：
作为泵组性能测试与真空系统一体化配置的标准测量单元，便于 OEM 厂家快速集成。实验室与科研真空系统：
为实验室通用真空线、分析仪器前级等提供从大气到中真空的全程测量与记录。
常见问题 (FAQ)
Q：PVG550 与普通皮拉尼规相比有什么本质区别？
A： 普通皮拉尼规主要覆盖中真空段，对大气至低真空区段的精度与稳定性有限。PVG550 在同一探头内集成膜片规与皮拉尼规，大气至低真空由膜片段提供高精度、低漂移、气体无关测量，中真空段由皮拉尼段承接，实现更宽量程与更高整体精度。
Q：在什么情况下适合优先选择 PVG550，而不是单一皮拉尼真空计？
A： 如果工况只关注中真空段、对大气端与低真空段精度要求不高，可以选择单一皮拉尼真空计控制成本；若需要从大气抽空到中真空全程监控，并且对大气至低真空段精度与长期稳定性有明确要求（如真空炉、镀膜设备、泵组监控等），更建议选用 PVG550。
Q：PVG550 是否带本地显示？
A： PVG550 采用模块化结构，本体不带显示界面，更适合 OEM 集成及与上位机、PLC 或独立显示控制器配合使用。
Q：输出与设定点如何配置？
A： 标配 0–10 V 模拟输出与 RS485(Modbus RTU) 通讯。设定点输出为选配功能：RJ45 接口版本最多支持 1 路设定点，DB15 接口版本最多支持 3 路设定点，可用于阀门控制、泵组联锁或报警触发。
Q：如何选择电气接口？
A： 若以总线通讯与有限设定点为主，RJ45 接口结构紧凑、接线简洁；若需要更多设定点与更丰富的 IO 预留，可选择 DB15 接口版本，订货时需明确接口类型与设定点配置。
Q：对工况气体有什么限制？
A： PVG550 以 N₂ / 空气为标定气体，不适用于可燃或强腐蚀性气体环境。对于含腐蚀性组分或复杂混合气体的工况，建议在前端配置冷阱或过滤单元，并与 INFITECH 工程师确认适配性。
供应与技术支持 (Service & Support)
🚛 高效供应链协同
PVG550 作为高精度复合真空计，提供标准配置的常规库存与可选配置的定制服务。对于标准 KF16 接口与常用电气接口版本，可实现较短交付周期，适合设备厂与系统集成商批量配套使用；对特殊量程或接口需求，可通过排产协同降低项目交付的不确定性。
👨🔧 专业应用对接
INFITECH 应用工程师可根据你的工艺参数（如真空范围、气氛类型、过程阶段划分等），协助完成量程规划、测点布置、设定点分配以及与控制系统的接入设计，提供接线建议、通讯寄存器说明与示例配置，降低选型与集成工作量。
🛡️ 标准化品质管理
每一台 PVG550 在出厂前均经过多点标定与性能测试，对膜片段与皮拉尼段分别进行验证，确保全量程精度与重复性符合规格。通过标准化质控流程与数据留档，提升批次间一致性，减少现场调试时间与后期维护成本。
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